Исследованы процессы создания нанокластеров Zn и Sn в диоксиде кремния на кремнии. Выявлено формирование мелких наноразмерных цинксодержащих кластеров. Предположена кристаллическая структура кластеров. Высокодозная имплантация при комнатной температуре также формирует слой с нанокластерами. термообработка приводит к увеличению размера нанокристаллитов. Отжиг образцов, имплантированных ионами Sn, приводит к формированию большого количества кластеров. Оценены плотность, средние размеры преципитатов и доза олова, входящего в преципитаты.