Исследованы процессы, происходящие на поверхности сплавов при облучении ускоренными ионами. Анализ облученных образцов молибдена показал, что при имплантации ионов азота происходит полиморфный переход исходной структуры в структуры соединений внедрения с плотной упаковкой. Изохронный отжиг ионно-имплантированных слоев приводит к распаду образующихся при облучении метастабильных соединений. Подобраны режимы радиационной обработки, при которых резко улучшаются физические свойства сплавов.