Разработка прототипов биологических и химических сенсоров на основе алмазных пленок методом CVD нити накаливания
Full Name of the work head: Имангалиев А.C.
Исполнители проекта: Жусупкалиева Г.К., Фабисяк К.С., Бактыбеков К.С. и др.
: Западно-Казахстанский государственный университет им. М.Утемисова
Inventory number: 0215РК02893
Registration number: 0115РК01893
Keywords: Алмазная пленка*хемосенсор*биосенсор*метод химического осаждения паров*нити накаливания
Исследованы прототипы биологических и химических сенсоров. Определен состав смеси метанола и водорода. Общий расход газа поддержали на уровне 100 стандартных кубических сантиметров для всех слоев. Температура подложки зафиксирована на уровне 2300 К, расстояние от нитей до подложки составило 1,5 мм, а время осаждения равнялось 33 ч. Выявлено, что темпы роста алмазных слоев, увеличиваются с увеличением давления. Разработаны прототипы биологических и химических сенсоров на алмазных подложках.
