Исследование движения аэрозоля в микрокапилляре для развития новых технологий нанесения тонких линий в микроэлектронике
Full Name of the work head: Сыдыков Е.Б.
Исполнители проекта: Джайчибеков Н.Ж., Шалабаева Б.С.
: Евразийский национальный университет им. Л.Н.Гумилева
Inventory number: 0215РК02123
Registration number: 0115РК01421
Keywords: газовзвесь*двухфазный поток*дисперсная фаза*микрокапилляр*сдвиговый поток газа*сила Саффмана*сила Стокса
Исследованы двухфазные потоки, а именно поток газа с твердыми частицами (газовзвеси), движение аэрозоля в микрокапилляре. Определены силы взаимодействия между микрочастицами в потоке газа, движущегося в микрокапилляре. Построена математическая модель движения аэрозольного пока в микрокапилляре. Изложена методика расчета движения аэрозольной частицы в микрокапилляре. Проведен анализ между действием сил Стокса, Саффмана для аэрозольных потоков через микрокапилляры постоянного радиуса. Численно решена задача движения частицы в микрокапилляре медленно сходящегося радиуса. Получено аналитическое решение уравнения модели для компонентов скорости газа в конффузоре.
