Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Исследование движения аэрозоля в микрокапилляре для развития новых технологий нанесения тонких линий в микроэлектронике

Руководитель проекта: Сыдыков Е.Б.
Исполнители проекта: Джайчибеков Н.Ж., Шалабаева Б.С.
Организация: Евразийский национальный университет им. Л.Н.Гумилева
Инвентарный номер: 0215РК02123
Регистрационный номер: 0115РК01421
Ключевые слова: газовзвесь*двухфазный поток*дисперсная фаза*микрокапилляр*сдвиговый поток газа*сила Саффмана*сила Стокса