Расчет новых схем анализаторов энергий вторичных электронов с улучшенными характеристиками
Full Name of the work head: Сидорович А.В.
Исполнители проекта: Саулебеков А.О., Абдрахманов Н.Г., Камбарова Ж.Т.
: Казахский филиал Московского государственного университета им. М.В.Ломоносова
Inventory number: 0215РК01634
Registration number: 0115РК01177
Keywords: ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОР*ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ ПОЛЕ*ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКАЯ СХЕМА
Исследованы аксиально-симметричные анализаторы энергий вторичных электронов. Получены основные формулы, алгоритм решения интегро-дифференциального уравнения движения заряженных частиц в мультипольно- цилиндрических полях. Проведены расчеты и моделирование электронно-оптических схем гексопольно-цилиндрических энергоанализаторов с различными весовыми вкладами цилиндрического поля и кругового гексаполя, определены их электронно-оптические характеристики. Рассчитан светосильный аксиально-симметричный длиннофокусный анализатор для оже-микрозонда. Использованы неоднородные вдоль оси симметрии электростатические поля для создания систем энергоанализа с высокими электронно-оптическими параметрами.
