Разработка технологии получения износостойких функциональных углеродных покрытий
Руководитель проекта: Мансуров З.А.
Исполнители проекта: Лесбаев Б.Т., Мансуров Б.З.
Организация: Институт проблем горения
Инвентарный номер: 0215РК01377
Регистрационный номер: 0115РК00837
Ключевые слова: Углеродные покрытия*метод кислородно-ацетиленовой горелки*графен
Исследованы углеродные покрытия. Собрана технологическая установка для проведения синтеза углеродных покрытий методом кислородно-ацетиленовой горелки. Отлажена процедура химической подготовки кремниевых пластин. Произведена отработка режимов напыления металлических пленок на подложки из полированных пластин кремния методом магнетронного распыления на постоянном токе.