Исследованы фундаментальные свойства пленок нитрида титана, сформированных в многослойной контактной системе солнечных элементов магнетронным распылением. Отработана технология подготовки кремниевых пластин для создания солнечных элементов, включающая измерение времени жизни неосновных носителей и электросопротивления кремниевых пластин, процедуру химической обработки для получения гладкой зеркальной поверхности, а также методику отбора пластин после проверки на качество структуры поверхности. Показано, что наибольшую экономическую эффективность в технологии производства солнечных элементов обеспечивает способ получения пленок титана, нитрида титана, меди и алюминия, полученных путем оптимального отбора параметров магнетронного распыления, для формирования контактной системы, изготовленных с применением фотолитографии.