Рассмотрены наноматериалы на основе полупроводника ZnO и родственных соединений. Проведена модернизация имеющихся методик синтеза гидротермальным, золь-гель методом и методом магнетронного распыления. Изготовлена приставка для проведения процесса магнетронного распыления на постоянном токе и осаждения тонких пленок различных материалов. Отлажена методика электрохимических измерений вольт-амперных характеристик, циклических вольтамперограмм и емкостей электродов. Исследованы электрические свойства, спектры оптического поглощения и фотолюминесценции пленок ZnO в зависимости от режимов отжига и обработок в плазме. Показано, что электрические свойства образцов ZnO можно существенно восстановить в ходе последующего отжига. Результат восстановительного отжига в интервале температур 370-820 К зависит от газовой атмосферы во время отжига. Кратковременная обработка в водородной плазме способствует существенному улучшению электрических и фотолюминесцентных параметров. Эффект плазменной обработки на увеличение интенсивности ФЛ зависит от характера предварительных обработок. Отработан метод магнетронного напыления пленок ZnO, исследованы морфология, рамановские спектры, получены образцы с толщиной *1 мкм, с хорошими оптическими свойствами и оптическим пропусканием в видимой области выше 80 %, с электрическим сопротивлением 42 Ом на квадрат.