Разработан метод низкотемпературного синтеза пленок оксида меди из твердотельного порошкового источника активированного хлоридом меди. Исследованы структурные и оптические характеристики пленок. Найдены оптимальные условия синтеза. Показана возможность формирования пленок оксида меди толщиной от десятков нанометров до десятков микрометров. Данный метод получения пленок оксида меди является оригинальным, диапазон температур синтеза - 250 - 500С. Получены однородные по толщине пленок на любых подложках, термостойкость которых выше температуры синтеза. Отсутствуют ограничения по площади пленок, низкая токсичность реагентов.