Структурно-фазовые превращения и электронный транспорт в конденсированных средах
Full Name of the work head: Таурбаев Т.И.
Исполнители проекта: В.С.Антощенко
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазГУ
Inventory number: 0298РК00688
Registration number: 0197РК01320
Keywords: полупроводники, структурно-фазовые, превращения, исследования,
Объект исследования: полупроводниковые материалы А3В5, пленки аморфного кремния. Рассмотрены процессы деградации затравочных подложек соединений А3В5 при отделяемом росте монокристаллических пленок. Определены оптические и электрические свойства пленок аморфного гидрогенизированного и пористого кремния, выращенных в тлеющем разряде постоянного тока. Установлены: влияние состава жидкой фазы на кинетику релаксации; ориентационная зависимость деградации подложек GaB5; возможность легирования пленок с использованием альтернативных газов, содержащих В и Р. Область применения: физика полупроводников и аморфных материалов.
