National resources of STI / Research Report

Синтез гетероструктур Si3N4/SiO2/Si и исследование свойств парамагнитных центров, устойчивых при различных температурах отжига.

Full Name of the work head: Мурзалинов Данатбек Онгарбекович
Исполнители проекта: 
: Товарищество с ограниченной ответственностью "Физико-технический Институт"
Inventory number: 0221РК00264
Registration number: 0121РК00494
Keywords: нитрид кремния,стехиометрический параметр,термическая обработка,парамагнитный центр,фотолюминесценция