Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Синтез гетероструктур Si3N4/SiO2/Si и исследование свойств парамагнитных центров, устойчивых при различных температурах отжига.

Руководитель проекта: Мурзалинов Данатбек Онгарбекович
Исполнители проекта: 
Организация: Товарищество с ограниченной ответственностью "Физико-технический Институт"
Инвентарный номер: 0221РК00264
Регистрационный номер: 0121РК00494
Ключевые слова: нитрид кремния,стехиометрический параметр,термическая обработка,парамагнитный центр,фотолюминесценция