National resources of STI / Research Report

Исследование механизма роста нано- и микрочастиц в плазме высокочастотного разряда при различных модуляциях рабочих циклов

Full Name of the work head: Батрышев Дидар
Исполнители проекта: 
: НАО "Атырауский университет имени Халела Досмухамедова"
Inventory number: 0221РК00222
Registration number: 0120РК00241
Keywords: плазменные технологии,нанотехнология,высокочастотный разряд,модуляция рабочих циклов,плазмохимический синтез