Оценка влияния режимов магнетронного распыления, содержания реакционных газов, температуры мишени и подложки на скорость осаждения, структуру и состав пленок карбонитрида титана, формируемых на подложках из титана и низколегированной стали.
Full Name of the work head: Мамаева Аксауле Алиповна
Исполнители проекта:
: АО "Институт металлургии и обогащения"
Inventory number: 0220РК01648
Registration number: 0120РК00203
Keywords: Покрытия,износостойкость,композиционные материалы,магнетронное напыление,карбонитрид титана,реактивные газы
Разработка многофункциональных износостойких покрытий на основе карбонитрида титана для нанесения их на поверхность объектов из титана и стали, и повышение эффективности реактивного магнетронного распыления
