Синтез тонких алмазных плёнок в плазме высокочастотного разряда при высоких температурах подложки
Full Name of the work head: Нусупов Каир Хамзаевич
Исполнители проекта:
: АО «Казахстанско-Британский технический университет»
Inventory number: 0220РК01306
Registration number: 0118РК00994
Keywords: Поликристалл,монокристалл,алмаз,высокая температура,высокая частота,водород,метан
Получение высококачественных монокристаллических и поликристаллических плёнок алмаза для наноэлектроники и других областей народного хозяйства с использованием относительно не дорогостоящих оборудований.
