Разработка ионно-плазменного метода синтеза защитных покрытий на основе карбонитридов тантала
Full Name of the work head: Жаканбаев Елдар Асхатович
Исполнители проекта:
: Республиканское государственное предприятие на праве хозяйственного ведения "Институт ядерной физики" министерства энергетики Республики Казахстан
Inventory number: 0219РК00391
Registration number: 0118РК01090
Keywords: НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ,НИТРИДЫ,КАРБИДЫ,КАРБО НИТРИДЫ,МАГНЕТРОН
разработка ионно-плазменных методов обработки материалов, включающую в себя: отработка технологических приемов ионно-плазменного получения карбо нитридных систем и исследование фазового состава полученных карбо нитридных систем
