Формирование структуры и моделирование параметров аморфных и кристаллических пленок SiCx, выращенных физическими и химическими методами для солнечной технологии и наноэлектроники.
Руководитель проекта: Бейсенханов Нуржан Бейсенханович
Исполнители проекта:
Организация: АО «Казахстанско-Британский технический университет»
Формирование структуры и моделирование параметров аморфных и кристаллических пленок карбида кремния, синтезированных физическими и химическими методами.
