ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка технологий получения пленок пористого кремния, монокристаллического арсенида галлия, алмазоподобных пленок углерода и создание приборных структур на их основе

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Таурбаев Т.И.
Work head: Антощенко В.С.
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазГУ
Инвентарлық номер: 0299РК00049
Тіркелген номер: 0199РК00034
негізгі сөздер: полупроводниковые, материалы, получение, технологии, разработка,