Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Разработка технологий получения пленок пористого кремния, монокристаллического арсенида галлия, алмазоподобных пленок углерода и создание приборных структур на их основе

Руководитель проекта: Таурбаев Т.И.
Исполнители проекта: Антощенко В.С.
Организация: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазГУ
Инвентарный номер: 0299РК00049
Регистрационный номер: 0199РК00034
Ключевые слова: полупроводниковые, материалы, получение, технологии, разработка,