Формирование структуры и моделирование параметров аморфных и кристаллических пленок SiCx, выращенных физическими и химическими методами для солнечной технологии и наноэлектроники.
Руководитель проекта: Бейсенханов Нуржан Бейсенханович
Исполнители проекта:
Организация: АО «Казахстанско-Британский технический университет»
Инвентарный номер: 0218РК00731
Регистрационный номер: 0118РК00993
Ключевые слова: Кремний,полупроводники,карбид кремния,плазма,фазовые превращения,магнетронное распыление
Формирование структуры и моделирование параметров аморфных и кристаллических пленок карбида кремния, синтезированных физическими и химическими методами.