Формирование структуры и моделирование параметров аморфных и кристаллических пленок SiCx, выращенных физическими и химическими методами для солнечной технологии и наноэлектроники.
Full Name of the work head: Бейсенханов Нуржан Бейсенханович
Исполнители проекта:
: АО «Казахстанско-Британский технический университет»
Inventory number: 0218РК00731
Registration number: 0118РК00993
Keywords: Кремний,полупроводники,карбид кремния,плазма,фазовые превращения,магнетронное распыление
Формирование структуры и моделирование параметров аморфных и кристаллических пленок карбида кремния, синтезированных физическими и химическими методами.
