Синтез тонких алмазных плёнок в плазме высокочастотного разряда при высоких температурах подложки
Руководитель проекта: Нусупов Каир Хамзаевич
Исполнители проекта:
Организация: АО «Казахстанско-Британский технический университет»
Инвентарный номер: 0218РК00766
Регистрационный номер: 0118РК00994
Ключевые слова: Поликристалл,монокристалл,алмаз,высокая температура,высокая частота,водород,метан
Получение высококачественных монокристаллических и поликристаллических плёнок алмаза для наноэлектроники и других областей народного хозяйства с использованием относительно не дорогостоящих оборудований.