Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Синтез тонких алмазных плёнок в плазме высокочастотного разряда при высоких температурах подложки

Руководитель проекта: Нусупов Каир Хамзаевич
Исполнители проекта: 
Организация: АО «Казахстанско-Британский технический университет»
Инвентарный номер: 0218РК00766
Регистрационный номер: 0118РК00994
Ключевые слова: Поликристалл,монокристалл,алмаз,высокая температура,высокая частота,водород,метан