Получение наноматериалов методом импульсного плазменного распыления и их применение в производстве
Full Name of the work head: Жукешов Ануар Муратович
Исполнители проекта:
: Дочернее Государственное предприятие на праве хозяйственного ведения "Национальная Нанотехнологическая Лаборатория Открытого Типа" Республиканского Государственного Предприятия на праве хозяйственного ведения "Казахский Национальный университет им. Аль-Фа
Inventory number: 0218РК00265
Registration number: 0118РК00080
Keywords: методы получения наноматериалов,импульсная плазма, вакуумная техника,диагностика плазмы,наноразмерная структура
Расчет вакуумной камеры и разработка методики распыления материалов импульсными потоками плазмы