"Объекты исследования: Покрытия сложных нитридов переходных и тугоплавких металлов: Ti-C-N, Nb-C-N, Ta-C-N, Zr-c-N. Цель: Отработать технологические режимы получения покрытий сложных нитридов переходных и тугоплавких металлов Ti-C-N, Nb-C-N, Ta-C-N, Zr-c-N. Провести рентгеноструктурные исследования полученных покрытий нитридов, установить структуру и фазовый состав полученных покрытий. Проведена калибровка скорости магнетронного распыления углерода для атмосферы аргона и для аргон-азотной смеси. Определены границы распыления углерода по минимальной и максимальной мощности при которых идет стабильное распыление материала углеродной мишени в атмосфере чистого аргона и аргон-азотной смеси. Отработаны технологические режимы и получены оптимальные параметры формирования покрытий сложных нитридов переходных и тугоплавких металлов Ti-C-N, Nb-C-N, Ta-C-N, Zr-С-N. Проведены рентгеноструктурные исследования полученных покрытий карбо нитридов, установлены структура и фазовый состав полученных покрытий. Разработаны основы технологии получения карбо нитридных систем. Проведена работа по определению оптимальных параметров, для формирования нитридов и карбидов тугоплавких и переходных металлов. Отработаны основные режимы получения карбо нитридных систем тугоплавких и переходных металлов. "