"Объектом исследования данного проекта являются тонкопленочные анодные материалы на основе кремния для следующего поколения литий-ионных микроаккумуляторов. Целью проекта является разработка прототипа новых анодных материалов на основе монокристаллического карбида кремния с трехмерной структурой для литий-ионных тонкопленочных аккумуляторов. В данном документе представлен промежуточный отчет по проекту за 2018 г. в соответствии с календарным планом и представлены заключительные положения. Методы: В ходе реализации проекта были синтезированы двумерные тонкие пленки SiC методом газофазного осаждения, выполнена их характеризация различными методами, был исследован механизм литиирования SiC электрохимическим тестированием. Результаты: Были получены данные по структурным свойствам SiC, морфологии, электрохимическим характеристикам и изменению физико-химических свойств после тестирования. Научная новизна работы по проекту состоит в том, что анод на основе высоколегированного монокристаллического карбида кремния с трехмерной структурой впервые изучается и испытывается в составе ячейки литий-ионного аккумулятора. Значимость работы на промежуточном этапе состоит в том, что получены новые данные об электрохимических свойствах тонкопленочного 3C-SiC, исследуемого в качестве анодного материала. Полученные на данном этапе результаты будут использованы в дальнейшем для разработки долговечного, стабильного и безопасного трехмерного литий-ионного микроаккумулятора, удовлетворяющего техническим нуждам микроэлектроники, а также полученный материал и результаты будут интересны для исследований в области полупроводников. Область применения: Энергетика, высокоемкостные аккумуляторы для возобновляемых источников энергии, электрического транспорта и электроники, новые материалы. "