Освоение новой технологии по электронной промышленности для получения фосфидгаллиевой приборной структуры
Full Name of the work head: Жунисбеков С.
Исполнители проекта: Т.А.Сералиев
: Жамб.отд-ние ИА РК
Inventory number: 0295РК00203
Registration number: 0195РК00347
Keywords: фосфидгаллиевы, приборы, технология, фосфидгаллиевы, прибор,
Разработана технология газоэпитаксиального процесса для создания фосфидгаллиевых приборов, используемых в условиях низких температур. Изготовлены узлы технологической установки: газовый блок, нагревательная печь, кварцевый реактор и др. Область применения: электронная промышленность.
