Получение и модификация наноструктурных функциональных материалов в плазменно-пылевых средах
Full Name of the work head: Габдуллин М.Т.
Исполнители проекта: Рамазанов Т.С.*
: Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа при КазНУ им. аль-Фараби
Inventory number: 0214РК02243
Registration number: 0113РК01151
Keywords: высокочастотный разряд*наноструктурированные материалы*пылевая плазма*магнетронное распыление*
Объектом исследования являются пылевая плазма и плазменно-пылевые структуры комбинированного высокочастотного и магнетронного газового разряда. Рассмотрено получение наноструктурированных материалов и покрытий с заданными свойствами на основе применения комплексной плазмы комбинированного высокочастотного и магнетронного разряда. Модернизирована экспериментальная установка комбинированного высокочастотного емкостного и магнетронного разряда. Исследованы микроскопические функции среды на основе структурных свойств пылевых частиц и пылевого облака. Получены лабораторные образцы наноструктурированных материалов, проведено изучение их свойств на основе испытания образцов. Измерены толщина нанопокрытий, структуры нанообразований соответствующих лабораторных образов с помощью оптического и атомно-силового микроскопа. Изучены зависимости характеристик наноструктур от параметров плазмы высокочастотного и магнетронного разряда. Выявлены оптимальные параметры разряда для получения наноструктурированных частиц и покрытий.*
