Разработка технологий использования ультрадисперсных сред для получения покрытий на основе нитридов, карбидов и германидов и фольги сверхпроводящих переходных и легких металлов с исследованием их структуры и физических свойств
Full Name of the work head: Чакров П.В.
Исполнители проекта: Тулеушев Ю.Ж.*
: Институт ядерной физики
Inventory number: 0214РК03044
Registration number: 0112РК00725
Keywords: магнетрон*анод*катод*ультрадисперсная среда*устройства перемещения образцов*процесс напыления*магнитная муфта*
Произведена конструкторская проработка установки для получения слоистых покрытий на основе ультрадисперсных сред, включающая проработку катодного блока магнетрона, анодного блока, различных вариантов устройства для перемещения образцов во время процесса получения покрытия, а также произведена проработка компоновки установки в целом. В результате разработок блоков магнетрона спроектирован катодный блок, в котором мишень магнетрона размещается на тонкой мембране, что позволяет наиболее эффективно охлаждать мишень во время процесса напыления. Также разработаны варианты конструкции, позволяющие производить процессы распыления, как в режиме изолированного катода, так и в режиме изолированного анода. В результате разработки устройства для перемещения образцов разработано устройство перемещения образцов с передачей планетарного типа, а также разработано устройство ввода вращения в вакуумный объем с магнитной муфтой, позволяющее сохранять в процессе получения покрытия высокую чистоту рабочих газов.*
