Разработка покрытий и структур на основе аморфного углерода для структур электроники и фотовольтаики
Full Name of the work head: Токмолдин С.Ж.
Исполнители проекта: Чокин К.Ш.*
: Физико-технический институт
Inventory number: 0214РК01501
Registration number: 0112РК00939
Keywords: аморфный углерод*широкозонный полупроводник*прозрачное проводящее покрытие*
Исследованы структуры на основе аморфного углерода с целью дальнейшего создания материалов с новыми свойствами и функциональными возможностями на основе исследования корреляции их электрических, оптических характеристик и морфологии. Проведены исследования корреляции зависимостей концентрации ЭПР центров с электрическими характеристиками алмазоподобных углеродных покрытий, отожженных при различных температурах. Выполнено исследование морфологии полученных образцов и удельного сопротивления покрытий. Показано, что данные параметры являются стабильными на всем интервале температур исследования. Исследовано корреляции зависимостей физических параметров DLC покрытий отожженных при различных температурах. Получены зависимости толщины покрытий и электрической проводимости покрытий от температуры отжига. Уникальное сочетание свойств открывает большие возможности алмазоподобных углеродных пленок в оптических элементах лазеров, инфракрасной технике и других оптических устройствах. Считается, что DLC является, возможно, одним из самых прочных оптических покрытий, придающим поверхности чрезвычайное сопротивление абразивам, солям, кислотам, щелочам и маслам.*