Разработана технология получения многофазных мишеней для магнетронного распыления методом вакуумной плавки специально подобранных смесей металлов. Исследован структурно-фазовый состав многофазных покрытий. Обнаружено образование сверхтвердых покрытий, полученных при одновременном распылении титанового катода и мишени 12Х18Н10Т в среде азота, когда происходит образование нитридных фаз. Этот результат имеет важное практическое значение для упрочнения деталей механизмов и машин различных отраслей промышленности, в том числе и для деталей агрегатов тепловых электростанций. Выявлено, что изменение микротвердости и коэффициента трения связано с изменением химического потенциала покрытия. Экспериментально установлено, что формирование плазменного покрытия в пространственных координатах следует "квазипериодическому" закону, т.е. отвечает некоторому автоволновому процессу. Показана перспективность использования покрытия, сформированного Cr-Mn-Si-Cu-Fe-Al+Ti в среде азота методом магнетронного распыления с последующей лазерной обработкой.*
