Модификация физических характеристик тонких пленок диоксида олова, синтезируемого золь-гель методом
Full Name of the work head: Токмолдин С.Ж.
Исполнители проекта: Мухамедшина Д.М.*
: Физико-технический институт
Inventory number: 0214РК00484
Registration number: 0112РК00937
Keywords: пленки диоксида олова*золь-гель метод*легирование фтором*термический отжиг*этанол*
Установлено, что важное для технологии газочувствительных сенсоров увеличение в 2,8 раза газочувствительности и уменьшение времени отклика в 2 раза пленок SnO[2] связано с увеличением рН раствора в 10 раз с 0,18 до 1,80. Определено, что изменение водородного показателя пленкообразующего раствора с добавлением NH[4]F и NH[4]OH приводит к формированию дендритной структуры пленок и высокой шероховатости их поверхности, что в результате приводит к уменьшению их прозрачности с 85 до 40 - 65 % в видимой области длин волн 300-700 нм. Найдено, что прозрачность всех пленок в диапазоне 0,190 до 2,5 мкм составляет 80-90 %. После отжига наблюдается увеличение прозрачности в области коротких длин волн, что свидетельствует об улучшении стехиометрии состава пленок диоксида олова и устранении остатков растворителя и органических соединений. Показано, что линейность чувствительности пленок SnO2 к парам спирта, синтезированных как из растворов тетрахлорида олова, так из растворов с дисперсной фазой SnO[2] и модифицированных термическим воздействием при температуре 400{o}С, позволяет использовать их для создания сенсоров чувствительных к парам этанола в области низких концентраций.*