Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Разработка физико-технологических процессов формирования светоизлучающих структур на основе системы SiO[2]/Si с квантовыми точками полупроводников AB для систем оптоэлектроники

Руководитель проекта: Габдуллин М.Т.
Исполнители проекта: Тогамбаева А.К.*
Организация: Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа при КазНУ им. аль-Фараби
Инвентарный номер: 0213РК03022
Регистрационный номер: 0113РК01137
Ключевые слова: компьютерное моделирование*пробеги ионов*профили распределения ионов*метод Монте-Карло*термооксидирование*