Разработка инновационной технологии получения износостойких и химически стойких покрытий на основе тройных и четверных нитридных систем вольфрама, молибдена, циркония, алюминия и тантала
Full Name of the work head: Чакров П.В.
Исполнители проекта: Тулеушев Ю.Ж.*
: Институт ядерной физики
Inventory number: 0213РК03003
Registration number: 0113РК01158
Keywords: нанокристаллические покрытия*нитриды*коррозионная стойкость*износостойкость*
При помощи магнетронного осаждения отработаны технологические режимы синтеза покрытий тройных нитридов Ta-W-N, Ta-Mo-N, Ta-Zr-N, Ta-Al-N, W-Mo-N и W-Zr-N. Проведены рентгеноструктурные исследования структуры и фазового состава полученных покрытий.*
