Разработка инновационной технологии получения износостойких и химически стойких покрытий на основе тройных и четверных нитридных систем вольфрама, молибдена, циркония, алюминия и тантала
При помощи магнетронного осаждения отработаны технологические режимы синтеза покрытий тройных нитридов Ta-W-N, Ta-Mo-N, Ta-Zr-N, Ta-Al-N, W-Mo-N и W-Zr-N. Проведены рентгеноструктурные исследования структуры и фазового состава полученных покрытий.*
