Получение и модификация наноструктурных функциональных материалов в плазменно-пылевых средах
Full Name of the work head: Габдуллин М.Т.
Исполнители проекта: Рамазанов Т.С.*
: Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа при КазНУ им. аль-Фараби
Inventory number: 0213РК02936
Registration number: 0113РК01151
Keywords: наноструктурированные материалы*пылевая плазма*высокочастотный разряд*магнетронное распыление*
Исследованы пылевая плазма и плазменно-пылевые структуры высокочастотного газового разряда. Рассмотрено получение наноструктурированных материалов и покрытий с заданными свойствами на основе применения комплексной плазмы высокочастотного разряда. Модернизирована экспериментальная установка высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР). Проведена оптическая диагностика структуры комплексной плазмы. Исследованы микроскопические функции среды на основе структурных свойств пылевых частиц и пылевого облака из наночастиц. Получены лабораторные образцы наноструктурированных материалов, проведены изучение их свойств на основе испытания образцов. Измерены толщина нанопокрытий, плотность, размеры, структуры нанообразований соответствующих лабораторных образов. Изучены зависимости характеристик наноструктур от параметров плазмы ВЧЕР.*