Разработка технологии получения высокоэффективных солнечных элементов на основе гетероструктуры "кристаллический кремний - аморфный кремний"
Full Name of the work head: Токмолдин С.Ж.
Исполнители проекта: Токмолдин С.Ж.*
: Физико-технический институт
Inventory number: 0213РК02508
Registration number: 0111РК00550
Keywords: кристаллический кремний*аморфный кремний*солнечные элементы*реактор*
Разработаны методы создания высокоэффективных солнечных элементов на базе гетероструктуры "кристаллический кремний - аморфный кремний". Изготовлены детали реактора. Проведен монтаж системы газового обеспечения для технологической установки. Проведена сборка, химическая обработка и подготовка реактора к работе. Проведена установка и подключение реактора к системе газового обеспечения. Разработаны несколько вариантов возбуждения плазмы в реакторе. Разработана специальная методика продувки при замене баллонов с рабочим газом. Проведен монтаж системы вентиляции и нейтрализации. Проведена предварительная откачка внешней камеры и реактора. Разработан и изготовлен индуктор для розжига плазмы в реакторе. Проведены процессы плазменной очистки реактора. Заключен договор на поставку солнечных модулей нового поколения и сетевых инверторов с доступом к Internet.*
