Исследование основных закономерностей порообразования и роста нанокристаллитов пористого кремния при длительном анодном травлении, обусловленных квантово-размерными эффектами на локальных микроскопических участках атомно-шероховатой поверхности реального
Full Name of the work head: Токмолдин С.Ж.
Исполнители проекта: Рябикин Ю.А.*
: Физико-технический институт
Inventory number: 0213РК02330
Registration number: 0112РК00940
Keywords: кремний*монокристалл*осаждение металлов*нанокристаллиты*атомно-шероховатая поверхность*мозаичная структура*
В зависимости от омности и кристаллографической ориентации кремниевого материала выяснена роль сильного окислителя Н[2]О[2] на процесс образования пор и роста нанокристаллитов пористого кремния. Наличие никелевого и железного интенсификаторов роста пор на кремнии улучшает процесс порообразования на поверхности кремния. В обоих случаях наблюдаются образование более высокой плотности пор, нежели при травлении без них. При наличии поверхностного никелевого иитенсификатора наблюдается смещение фронта травления вглубь кристалла с присутствием никеля и образование при этом прямоугольных пор в отличие от круглых пор, как это наблюдается при обычном электрохимическом травлении без никелевого покрытия. Наличие интенсификаторов роста пор также улучшает процесс осаждения пленок одноименных металла на поверхность нанокристаллитов пористого кремния. Наилучшие результаты получены при использовании никелевых интенсификаторов и осаждения тонких слоев никеля. Это было использовано при создании высокоэффективных кремниевых пористых электродов для электролиза воды.*
