Разработка технологии получения нитрида галлия для использования в оптоэлектронных приборах
Full Name of the work head: Турсумуратов Д.Т.
Исполнители проекта: Тихонов А.*
: Nazarbayev University Research and Innovation System
Inventory number: 0213РК02749
Registration number: 0112РК01084
Keywords: нитрид галлия*химическое осаждение*магнетрон*напыление*
Проведено исследование нитрид галиевых структур, полученных магнетронным напылением и химическим осаждением из газовой среды. Осуществлено формирование и модификация данных структур. Подобраны условия и технологические параметры получения нитрида галлия. Изучены физико-технические свойства полученных материалов.*
