Проведено исследование нитрид галиевых структур, полученных магнетронным напылением и химическим осаждением из газовой среды. Осуществлено формирование и модификация данных структур. Подобраны условия и технологические параметры получения нитрида галлия. Изучены физико-технические свойства полученных материалов.*