Объект исследования: имплантированные протонами и дейтронами образцы кристаллического кремния. Методом инфракрасной спектроскопии исследованы локальные колебательные моды водорода в окрестности собственных дефектов в кристаллическом кремнии. Показано, что в зависимости от характера Si-H-связи соответствующие моды колебаний располагаются в различных спектральных диапазонах. В случае ковалентного характера Si-H-связи в спектрах инфракрасного поглощения наблюдаются только полосы, соответствующие фундаментальным модам валентных колебаний в диапазоне 1900-2250 см-1 и деформационных колебаний в диапазоне 55-750 см-1. При ионном характере Si-H-связи частота деформационного колебания имеет наибольшее значение выше 800 см-1, причем наблюдается поглощение, соответствующее обертонному деформационному колебанию. Предложены модели комплексов водорода с собственными дефектами.