Разработка технологий использования ультрадисперсных сред для получения покрытий на основе нитридов, карбидов и германидов и фольги сверхпроводящих переходных и легких металлов с исcледованием их структуры и физических свойств
Full Name of the work head: Чакров П.В.
Исполнители проекта: Тулеушев Ю.Ж.*
: Институт ядерной физики
Inventory number: 0213РК03123
Registration number: 0112РК00725
Keywords: нанокристаллические покрытия*нитриды*коррозийная стойкость*износостойкость*
Исследованы покрытия, состоящие из тройных нитридов тантала, вольфрама, молибдена, алюминия и циркония. При помощи метода магнетронного осаждения отработаны технологические режимы получения покрытий сложных нитридов: Ta-W-N, Ta-Mo-N, Ta-Zr-N, Ta-Al-N, W-Mo-N и W-Zr-N. Установлены структура и фазовый состав полученных покрытий.*
