Изучение кинетики пиролиза кремнийсодержащих газов и роста пленок аморфного гидрогенизированного кремния
Full Name of the work head: Мукашев Ф.А.
Исполнители проекта: Я.Я.Иванов
: Центр физ.-хим.метод.анализа при КазГУ
Inventory number: 0297РК00695
Registration number: 0197РК00626
Keywords: кремнийсодержащие, газы, пиролиз, изучение, кинетика, пленки, кремний, оптоэлектронные, характеристики, легирование, газофазные реакции,
Изучено влияние температуры подложки, состава исходной газовой смеси и уровня легирования на оптоэлектронные характеристики образцов. Установлено, что рост пленок аморфного гидрогенизированного кремния при атмосферном давлении контролируется газофазными реакциями. Эффективность легирования при замене фосфина силилфосфином и диборана силилбораном значительно возрастает.
