ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Изучение кинетики пиролиза кремнийсодержащих газов и роста пленок аморфного гидрогенизированного кремния

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Мукашев Ф.А.
Work head: Я.Я.Иванов
: Центр физ.-хим.метод.анализа при КазГУ
Инвентарлық номер: 0297РК00695
Тіркелген номер: 0197РК00626
негізгі сөздер: кремнийсодержащие, газы, пиролиз, изучение, кинетика, пленки, кремний, оптоэлектронные, характеристики, легирование, газофазные реакции,