Разработка инновационной ионно-плазменной технологии производства тонкопленочных фотоэлементов на основе аморфного кремния, легированного нанокаплями серебра
Руководитель проекта: Чакров П.В.
Исполнители проекта: Тулеушев Ю.Ж.*
Организация: Институт ядерной физики
Инвентарный номер: 0213РК00907
Регистрационный номер: 0112РК02485
Ключевые слова: аморфный кремний*микроморфный кремний*водород*серебро*тонкопленочные фотоэлементы*
Разработана ионно-плазменная технология производства тонкопленочных фотоэлементов на основе аморфного кремния, легированного нанокаплями серебра. В результате исследования разработана технология получения покрытий из аморфного кремния, легированного нанокаплями серебра.*