Разработка инновационной ионно-плазменной технологии производства тонкопленочных фотоэлементов на основе аморфного кремния, легированного нанокаплями серебра
Full Name of the work head: Чакров П.В.
Исполнители проекта: Тулеушев Ю.Ж.*
: Институт ядерной физики
Inventory number: 0213РК00907
Registration number: 0112РК02485
Keywords: аморфный кремний*микроморфный кремний*водород*серебро*тонкопленочные фотоэлементы*
Разработана ионно-плазменная технология производства тонкопленочных фотоэлементов на основе аморфного кремния, легированного нанокаплями серебра. В результате исследования разработана технология получения покрытий из аморфного кремния, легированного нанокаплями серебра.*
