Разработка инновационной ионно-плазменной технологии производства тонкопленочных фотоэлементов на основе аморфного кремния, легированного нанокаплями серебра
Разработана ионно-плазменная технология производства тонкопленочных фотоэлементов на основе аморфного кремния, легированного нанокаплями серебра. В результате исследования разработана технология получения покрытий из аморфного кремния, легированного нанокаплями серебра.*