Модификация физических характеристик тонких пленок диоксида олова, синтезируемого золь-гель методом
Full Name of the work head: Токмолдин С.Ж.
Исполнители проекта: Мухамедшина Д.М.*
: Физико-технический институт
Inventory number: 0213РК01216
Registration number: 0112РК00937
Keywords: тонкие пленки оксида олова*золь-гель метод*термический отжиг*
Усовершенствованы методы изготовления тонких пленок диоксида олова, синтезируемых золь-гель методом. Тонкие пленки оксида олова наносились на стеклянные подложки золь-гель технологией, используя метод центрифугирования. Модифицировались термическим отжигом. Установлено, что увеличение чувствительности пленок SnO[2] к парам этанола и сокращение времени отклика достигается термическим воздействием. Выявлены оптимальные режимы отжига, позволяющие достигать максимальной газочувствительности и минимального времени отклика, улучшения структуры кристаллитов при сохранении малых размеров.*