Разработка и создание пилотной линии по производству кремниевых солнечных батарей с использованием сильноточного низкоэнергетического ускорителя тяжелых ионов, сепарированных по массам
Full Name of the work head: Бейсембетов И.К.
Исполнители проекта: Нусупов К.Х.*
: Казахстанско-Британский технический университет
Inventory number: 0213РК01070
Registration number: 0112РК00494
Keywords: кремниевые солнечные батареи*ионно-имплантационная технология*
Методом ионно-лучевого распыления получена структура многослойная структура типа (SiOx-SiOy-Si). Созданы солнечные батареи ионно-имплантационной технологией с синтезом нанокристаллов кремния в матрице просветляющего покрытия конкурентоспособным, технологичным и программно-контролируемым методом, обладающим высокой производительностью с помощью сильноточного низкоэнергетического ускорителя тяжелых ионов, сепарированных по массам. Пленки SiO[2], полученные методом ионной имплантации, магнетронным распылением, высокотемпературным синтезом не подвержены отслойке от поверхности матрицы, что увеличивает их эффективность и высокую стабильность их характеристик. *
